UBM 스퍼터링을 이용한 생체전극용 백금 코팅

  • 정재인 (포항산업과학연구원 센서 시스템 연구팀) ;
  • 김진의 (포항산업과학연구원 센서 시스템 연구팀) ;
  • 김홍배 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
  • 이훈 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
  • 안세영 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
  • 임태균 ((주)아벡테크) ;
  • 최용선 ((주)아벡테크)
  • Published : 2003.08.20