한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- Pages.196-196
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- 2003
TMOS/$O_2/N_2(N_2O)$ ICP-CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구
- 발행 : 2003.08.20