Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

멀티 채널방식에 의한 초미세 바늘전극 제작

  • 김성수 (광운대학교 전자물리학과 FIB 연구실) ;
  • 임연찬 (광운대학교 전자물리학과 FIB 연구실) ;
  • 현정우 (광운대학교 전자물리학과 FIB 연구실) ;
  • 오현주 (광운대학교 전자물리학과 FIB 연구실) ;
  • 강승언 (광운대학교 전자물리학과 FIB 연구실)
  • Published : 2003.08.20
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Abstract

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