CVD 법에 의한 cerium silicate 박막의 성장

  • 이진욱 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 유승호 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 최원철 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 이영국 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 이선숙 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김윤수 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
  • Published : 2003.02.14

Abstract

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