Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.138-138
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- 2003
CVD 법에 의한 cerium silicate 박막의 성장
- Lee, Jin-Uk ;
- Yu, Seung-Ho ;
- Choe, Won-Cheol ;
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Lee, Yeong-Guk
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Lee, Seon-Suk
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Kim, Chang-Gyun
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Kim, Yun-Su
- 이진욱 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 유승호 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 최원철 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
-
이영국
(한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
;
-
이선숙
(한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
;
-
김창균
(한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
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김윤수
(한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords