성장 온도 및 성장 압력에 따른 (Ba,Sr)$TiO_{3}$ 박막의 증착 거동

  • 권현구 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김현숙 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 박정우 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 오영우 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 정택모 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 이영국 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김윤수 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
  • Published : 2003.02.14

Abstract

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