새로운 Al 선구 물질을 이용한 $Al_{2}O_{3}$ 박막의 ALD 성장

• Jo, Won-Tae ;
• Seong, Gi-Hwan ;
• Lee, Seon-Suk ;
• An, Gi-Seok ;
• Jeong, Taek-Mo ;
• Kim, Yun-Su

• 조원태 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
• 성기환 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
• 이선숙 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
• 안기석 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
• 정택모 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
• 김윤수 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)

• Published : 2003.02.14

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