Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Me$_{2}Zn$(TMEDA) MOCVD 선구 물질을 사용하여 Si(111) 기질 위에 성장시킨 ZnO 박막에 관한 연구

  • 김현진 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 성기환 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 안기석 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김윤수 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
  • Published : 2003.02.14
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