한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)

권호 표지

SILC(Stress Induced Leakage Current)를 이용한 하프늄산화막-알루미나($HfO_2-Al_2O_3$) 적층 유전반막의 전기적 신뢰성 실험

The Reliability Test using SILC of Gate Dielectrics Made of ($HfO_2-Al_2O_3$) Multilayers

최지훈 (서울대학교 재료공학부) ;
이치훈 (서울대학교 재료공학부) ;
조문주 (서울대학교 재료공학부) ;
황철성 (서울대학교 재료공학부) ;
김형준 (서울대학교 재료공학부)

발행 : 2003.04.18

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