MOCVD법을 이용하여 증착된 $(Ba.Sr)RuO_3$ 박막의 특성 평가

Characterization of $(Ba.Sr)RuO_3$ Films Deposited by Metal Organics Chemical Vapor Deposition

  • 김현철 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김윤수 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김영배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.04.18