산소반응성 스퍼터링 방법에 의한 $ZnGa_2O_4$ 박막의 성장거동과 발광특성

Growing and Luminous Characterization of $ZnGa_2O_4$ Thin Film Deposited by $O_2$ Reactive Magnetro Sputtering

  • 정승묵 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재공학) ;
  • 김영진 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재공학)
  • 발행 : 2003.04.18