한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

STI CMP용 세리아 슬러리의 Suspension pH가 CMP공정에 미치는 영향

The Effects of Suspension pH of Ceria Slurry on Chemical Mechanical Polishing for Shallow Trench Isolation

  • 윤필원 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상균 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 손형민 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • ;
  • 박재근 (한양대학교 나노 SOI 연구실)
  • 발행 : 2003.04.18
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