PZT박막을 이용한 Diahragm 제작 및 특성

Fabrication of PZT Thin-film Diaphragm and their Properties

  • 송상근 (성균관대학교 나노과학공학과) ;
  • 신상훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 전정진 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18