한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

RF-PECVD 법에 의해 증착된 DLC 박막의 기계적 특성과 결합구조에 대한 보조가스의 영향

Effect the Additive Gas on the Bonding Structure and Mechanical Properties of the DLC Films Deposited by the RF-PECVD

  • 최봉근 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 양원재 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 김재광 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 오근호 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 심광보 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터)
  • 발행 : 2003.04.18
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