Polymer 첨가에 의한 LSI기판용 재료의 기공제어 및 기계적 특성평가

Control of Porosity and Mechanical Properties of LSI Substrate by Polymer Addition

  • 김창환 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 권용준 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 차재민 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 이병철 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 류봉기 (부산대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18