한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2003년도 춘계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.156.2-156
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- 2003
STI CMP에서 평탄화에 미치는 $CeO_2$ 연마입자 효과
Effect of $CeO_2$ Abrasive Particles on Planarization in STI CMP
- 발행 : 2003.04.18