하이브리드 플라지마를 이용한 Si 나노코팅 합성 및 특성평가

Synthesis of Nanostructured Silicon Coatings by Hybrid Plasma and their Characterization

  • 이형직 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
  • 권혁병 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
  • 장성식 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤상옥 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
  • 이형복 (명지대학교 세라믹공학과) ;
  • 이홍림 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.04.18