FALC 공정을 이용한 TFT Array의 Channel 영역 결정화

Channel Area Crystallization of TFT Array Using Field Aided Lateral Crystallization Process

  • 김윤수 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김현철 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김영배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.04.18