실리콘 산화물 공정이 실리카 플랫폼의 특성에 미치는 영향

Characteristics of Silica Platform with Silicon Oxide Treatment for Hybrid Intergrated Optical Module

  • 김태홍 (한국전자통신연구원, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 심재기 ((주) 옵토스타) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.04.18