초음파분무 MOCVD법으로 증착된 PZT막에 미치는 조성비의 영향

Effect of COmposition Ratio on the Properties of PZT Films Made by MOCVD Using Ultrasonic Nebulization

  • 김선일 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18