레이저 증착법으로 제조된 ZnO 박막의 성장에 미치는 산소압력 영향

Effects of Oxygen Pressure on the Growth of Pulsed Laser Deposited ZnO Thin Films on Si(001)

  • 이동주 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이병택 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김상섭 (전남대학교 신소재공학부)
  • 발행 : 2003.04.18