한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.32.2-32
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- 2003
자외선 조사가 $Al_2O_3$ 박막의 단원자 증착 공정에 미치는 영향
Effects of UV Radiation on the Atomic Layer Deposition of $Al_2O_3$ Thin Films
- 발행 : 2003.10.17