극자외선 노광공정용 반사 미러의 광학 특성 평가를 위한 복합 모델링

Multiple Modeling of EUV Reflector for Evaluating Optical Characteristics

  • 강인용 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 정용재 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.10.17