RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 에피택셜$BaTiO_3$ 박막의 초고주파 유전 특성

Microwave Dielectric Characteristics of Epitaxial $BaTiO_3$ Thin Films by RF Magnetron Sputtering

  • 현태선 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 조영우 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2003.10.17