Plasma 기체에 따른 $SnO_2$ Films 특성

Characteristics of Tin Oxide Films Deposited with Plasma Gases

  • 박용주 (조선대학교 금속재료 공학과) ;
  • 박진성 (조선대학교 금속재료 공학과)
  • 발행 : 2003.10.17