한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

PECVD법에 의해 증착된 $SiO_2$와 SiON 후막의 RF Bias power의 영향

The Effect of RF Bias Power on the $SiO_2$ and SiON Thick Film Deposited by PECVD

  • 김용탁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김동신 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 윤대호 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2003.10.17
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