한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
- /
- Pages.147.1-147
- /
- 2003
이차 이온빔의 $O_2$ 가스 유량과 에너지 변화에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 광학적 특성
Optical Characteristics of $Ta_2O_5$ Thin Films as a $O_2$ Gas Flow and Beam Voltage of Assist Beam Prepared by Dual Ion Beam Sputtering Deposition
- 윤석규 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 김회경 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
-
이형만
(전자부품연구원 광부품연구센터)
;
- 김명진 (전자부품연구원 광부품연구센터) ;
- 이상현 (인하대하교 물리학과) ;
- 김근영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
-
윤대호
(성균관대학교 신소재공학과)
- Yun, Seok-Gyu ;
- Kim, Hoe-Gyeong ;
-
Lee, Hyeong-Man
;
- Kim, Myeong-Jin ;
- Lee, Sang-Hyeon ;
- Kim, Geun-Yeong ;
-
Yun, Dae-Ho
- 발행 : 2003.10.17