CTAB로 주형된 메조기공성 실리카 박막의 층간 절연막으로의 응용

CTAB-templated Mesoporous Silica Thin Film for the Low-k Application

  • 한추경 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 정상배 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 박형호 (연세대학교 세라믹 공학과)
  • 발행 : 2003.10.17