한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

원자층 증착법을 이용한 알루미늄 옥사이드 특성 연구

Characteristics of Aluminum Oxide Films Grown by Atomic Layer Deposition from TMA and $H_2O$ Precursors

  • 서동찬 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김용석 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.10.17
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