폐슬러지 실리콘 분말을 이용한 질화규소 합성

Silicon Nitride Synthesis using Sludged Silicon Powder

  • 최미령 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 장영철 (메카트로닉스공학부)
  • 발행 : 2003.10.17