MOCVD법을 이용한 ZnO 박막성장시 증착변수에 따른 미세구조 변화 거동

Microstructural Evolution of ZnO Thin Films Grown by MOCVD

  • 박재영 (전남대학교 신소재공학부 광 전자박막연구실) ;
  • 이동주 (전남대학교 신소재공학부 광 전자박막연구실) ;
  • 문종하 (전남대학교 신소재공학부 광 전자박막연구실) ;
  • 이병택 (전남대학교 신소재공학부 광 전자박막연구실) ;
  • 김상섭 (전남대학교 신소재공학부 광 전자박막연구실)
  • 발행 : 2003.10.17