GeTe/$Sb_2Te_3$ 다층 상변화박막의 열처리에 따른 전기적${\cdot}$광학적 특성 평가

Electrical and Optical Properties of Heat-treated Phase-change $GeTe/Sb_2Te_3$ Multi-layer Thin Film

  • 강명진 (연세대학교 신소재공학부) ;
  • 최세영 (연세대학교 신소재공학부)
  • 발행 : 2003.10.17