The behavior of oxygen at $AlO_{x}/Co_{90}Fe_{10}$ interface of the magnetic tunnel junctions by the thermal treatment

열처리 공정에 따른 자기터널접합 소자내의 $AlO_{x}/Co_{90}Fe_{10}$ 계면에서의 화학적 미세구조 분석

  • 이동건 (연세대학교, 세라믹공학과) ;
  • 이진원 (연세대학교, 세라믹공학과) ;
  • 홍종일 (연세대학교, 세라믹공학과)
  • Published : 2004.12.01