펄스 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $Zn_{l-x}Co_{x}O$ 박막의 미세조직 및 자기적 특성

• 고윤덕 (인하대학교 소재연구소) ;
• 고석배 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
• 최문순 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
• 태원필 (인하대학교 소재연구소) ;
• 김기출 (한국전자통신연구소) ;
• 서수정 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ;
• 김용성 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터)

• Published : 2004.12.01

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