R.F-Magnetron Sputtering 법에 의한 Empress2 세라믹 기판에 성장된 $ZrO_2$ 박막의 미세조직 및 기계적 특성

Microstructures and Mechanical Properties of $ZrO_2$ Thin Film on the Empress2 Ceramic Substrate by R.F-Magnetron Sputtering

  • 이재영 (공주대학교 재료공학과) ;
  • 이희정 (공주대학교 재료공학과) ;
  • 오익현 (공주대학교 재료공학과) ;
  • 이해형 (단국대학교 치의학과 치과생체재료학) ;
  • 이병택 (공주대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2004.04.01