Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

  • 한길진 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 장영철 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 김나랑 (고등기술연구원 Plant Engineering 센터 대체에너지개발팀) ;
  • 주지선 (고등기술연구원 Plant Engineering 센터 대체에너지개발팀)
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

폐슬러지 실리콘과 흑연의 혼합물에 물을 주입하고 열처리하여, 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자를 제조하였다. 제조된 이산화 실리콘의 직경은 균일하고 약 $1.7\mu\textrm{m}$이다. 탄화 실리콘이 이산화 실리콘 구형입자와 함께 존재하였으며, 그 모양은 휘스커와 다면체였다. 폐슬러지 실리콘과 탄소의 혼합물을 고온에서 열처리하면 일산화 실리콘 기체가 생성된다. 물이 산소의 공급원으로 주입되면 일산화 실리콘 기체는 산소와 반응하여 이산화 실리콘 고체가 형성될 수 있다. 실리콘 공급원으로 일산화 실리콘이 반응기 내에 균일하게 분포하고 물을 주입하여 이산화 실리콘이 형성되는 메커니즘은 액상에서 수산화 실리콘 구형입자를 형성하는 메커니즘과 유사하다.

Keywords