Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Cost-down Antireflection Coating using Anodization for Multicrystalline Silicon Solar Cells

양극산화과정으로 형성된 저가 고효율 다결정 실리콘 태양전지 반사 방지막에 대한 연구

  • Kwon, J.H. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University) ;
  • Kim, D.S. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University) ;
  • Lee, S.H. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University)
  • 권재홍 (세종대학교 전략에너지연구소) ;
  • 김동섭 (세종대학교 전략에너지연구소) ;
  • 이수홍 (세종대학교 전략에너지연구소)
  • Published : 2004.07.05
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Abstract

본 논문에서는 저가 고효율 태양전지를 제작하기 위하여 p형 다결정 실리콘 기판을 사용하여 수산화 칼륨(KOH)이 포함된 용액에 Saw damage 과정 후 불산이 함유된 용액에 전기화학적 양극산화 과정으로 실리콘 웨이퍼 표면에 요철을 형성하여 다공성 실리콘을 형성 하였다. 본 논문은 전기화학적 에칭방법으로 기존의 진공장비로 제작된 반사방지막의 반사율만큼 감소된 다공성 실리콘 반사방지막을 형성하였다. 전자빔 증착기(e-beam evaporator)로 단층으로 형성된 $TiO_2$의 반사방지막은 400-1000 nm의 파장 범위에서 4.1 %의 평균 반사율을 가졌으며, 양극산화과정으로 형성된 다공성 실리콘은 400-1000 nm의 파장의 범위에서 4.4 %의 평균 반사율을 가졌다. 본 연구는 태양전지의 반사방지막 형성을 기존의 제작 방법보다 간단하고 저렴한 방법으로 접근하여 태양전지의 변환효율을 상승하는데 목적을 두었다.

Keywords