한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

ALD로 증착한 Aluminum Titanate 박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 분석

Thermal Annealing Effects on the Structural and Electrical Properties of Aluminum Titanate Films Grown by Atomic Layer Deposition Method

  • 서민하 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 김성근 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실) ;
  • 황철성 (서울대학교 재료공학부 유전박막실험실)
  • 발행 : 2004.10.01
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