Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

The fabrication of CdS films and characteristics of x-ray response of CdS films for radiation sensor applications

방사선 센서 적용을 위한 CdS 소자 제조 및 X선 반응 특성

  • Park, Ji-Koon (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Choi, Jang-Yong (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Kim, Kyung-Jin (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Kim, So-Yung (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Lee, Hyung-Won (Medical Imageing Reserch Center of Inje University) ;
  • Nam, Sang-Hee (Medical Imageing Reserch Center of Inje University)
  • 박지군 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 최장용 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 김경진 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 김소영 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 이형원 (인제대학교 의료 영상 연구소) ;
  • 남상희 (인제대학교 의료 영상 연구소)
  • Published : 2004.04.24
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Abstract

본 논문은 CdS의 소성 온도가 방사선 검출 특성에 미치는 영향을 조사하였다. CdS 센서는 스크린 프린터 방식을 이용해 $40{\mu}m$의 두께로 제조하였다. XRD 와 SEM을 이용하여 형성된 CdS 필름의 구조 및 형상을 분석하였다. 제조된 CdS 센서에 대해 X선 반응 특성을 조사하기 위해 I-V 측정을 수행하였다. 인가 전압에 따른 Dark current, x-ray sensitivity 및 선량에 따른 Linearity을 측정한 결과 CdS 센서가 $450^{\circ}C$이상 소성시 방사선에 대한 우수한 검출 특성을 보였다.

Keywords