Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

소자 적용을 위한 undoped와 n-형 아연산화물 박막의 습식 식각 특성

  • 강순형 (광주과학기술원 신소재공학과 나노광반도체연구실) ;
  • 임재홍 (광주과학기술원 신소재공학과 나노광반도체연구실) ;
  • 황대규 (광주과학기술원 신소재공학과 나노광반도체연구실) ;
  • 오진용 (광주과학기술원 신소재공학과 나노광반도체연구실) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과 나노광반도체연구실)
  • Published : 2004.02.11
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Abstract

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