Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference (한국소성가공학회:학술대회논문집)

The Korean Society for Technology of Plasticity and materials processing (한국소성∙가공학회)
권호 표지

펨토초 레이저를 이용한 극미세 가공

  • 조성학 (한국기계연구원(KIMM), 나노공정장비연구센터) ;
  • 유병헌 (한국기계연구원(KIMM), 나노공정장비연구센터) ;
  • 장원석 (한국기계연구원(KIMM), 나노공정장비연구센터) ;
  • 김재구 (한국기계연구원(KIMM), 나노공정장비연구센터) ;
  • 황경현 (한국기계연구원(KIMM), 나노공정장비연구센터)
  • Published : 2005.10.01
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Abstract

Keywords