Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.04a
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- Pages.64-66
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- 2005
Design and Analysis of Micro-positioning Actuator using Three Dimensional Finite Element Method
3차원 유한요소법을 이용한 Micro positioning actuator의 설계 및 해석
- Oh, Kwang-Il (Seoul National University) ;
-
Rho, Jong-Seok
(Seoul National University)
;
- Jung, Hyun-Kyo (Seoul National University)
- Published : 2005.04.28
Abstract
본 논문에서는 압전체의 타원 운동을 이용한 선형 Micro-Positioning Actuator(MPA)에 대한 설계 및 해석 기법을 제안하였다. 또한 MPA의 해석을 위해 3차원 압전체의 유한요소의 정식화를 통한 유한요소 해석기법의 검증을 수행하였다. 검증된 3차원 유한요소 해석을 이용하여 MPA의 공진 특성 즉 impedance, 모드, 그리고 타원운동 해석을 하였다. 마지막으로 제안된 해석기법을 이용하여 기계 시스템을 고려한 MPA의 최종 설계를 하였다.
Keywords