Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2005.06a
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Pages.1559-1559
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2005
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

CMP 패드 컨디셔너에서의 다이아몬드 및 금속기지간의 결합력 측정

송민석 (신한다이아몬드공업㈜) ;
강승구 (신한다이아몬드공업㈜) ;
안상재 (신한다이아몬드공업㈜) ;
조성호 (신한다이아몬드공업㈜) ;
김강준 (신한다이아몬드공업㈜) ;
김성수 (신한다이아몬드공업㈜) ;
변서봉 (신한다이아몬드공업㈜) ;
이상진 (신한다이아몬드공업㈜) ;
지원호 (신한다이아몬드공업㈜)

Published : 2005.06.01

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Abstract

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