Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Dependence of Decomposition Process of PtO$_X$ Film on Temperature and Oxygen rate Investigated by in situ Ellipsometry

In situ 타원법을 이용한 PtO$_X$ 박막의 온도 및 산소조성비의 변화에 따른 연구

  • 김창일 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 이학철 (아주대학원 분자과학기술학과) ;
  • 오수기 (아주대학교 물리학과) ;
  • 안성혁 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학원 분자과학기술학과)
  • Published : 2005.02.17
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords