Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference (한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Resources Recycling (한국자원리싸이클링학회)
권호 표지

Controlled synthesis of silica nanoparticles by a two-fluid nozzle flame reactor

이류체 노즐형 화염 반응기에 의한 실리카 나노분말 제조

  • Chang, Han-Kwon (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Jang, Hee-Dong (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Chang, Won-Chul (Institute for Research & Technology, Pungnam Semiconductor Technology Co.)
  • 장한권 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장희동 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장원철 (㈜풍남반도체테크 부설연구소)
  • Published : 2005.10.14
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

실리콘 잉고트의 절단공정에서 발생하는 폐실리콘 슬러지는 실리콘과 실리콘카바이드 등의 유가자원이 함유되어 있으며, 이 중 실리콘 분말은 실리콘 화합물인 알콕시실란 등을 제조하는데 원료로 사용이 가능하다. 본 연구에서는 폐실리콘 슬러지로부터 분리, 합성된 사에 톡시실란(TEOS)을 원료로 이용하여 실리카 나노분말을 합성하였다. TEOS 원료물질을 외부 혼합형 이류체 노즐을 이용하여 미세액적으로 분무하고 화염 속으로 도입시키고 화염열분해 반응을 진행시켜 실리카 나노분말을 합성하였다. 합성된 실리카 나노입자의 특성은 투과형 전자현미경 및 BET에 의하여 입자형상 및 평균 입자크기가 분석되었다. 주요 공정변수인 분산공기의 압력, 반응가스의 조성을 변화시켜 실험한 결과 평균크기가 $9{\sim}68nm$인 실리카 나노분말을 제조하였다.

Keywords