Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

A Study on Dip-Pen Nanolithograpby Process to Fabricate 2D Pbotonic Crystal for Planar-Type Optical Bio-Sensor

평판형 광-바이오센서 (Planar-Type Optical Bio-Sensor)용 2차원 광자결정 제작을 위한 Dip-Pen Nanolithography 공정 연구

  • Kim, Jun-Hyong (Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University) ;
  • Lee, Jong-Il (Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University) ;
  • Lee, Hyun-Yong (Faculty of Applied Chemical Engineering, Chonnam National University)
  • 김준형 (전남대학교 응용화학공학부) ;
  • 이종일 (전남대학교 응용화학공학부) ;
  • 이현용 (전남대학교 응용화학공학부)
  • Published : 2005.07.07
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Abstract

바이오센서 응용을 위한 대칭 및 비대칭 마하젠더 간섭계 광도파로 소자의 설계, 제작 및 광학적 응답특성을 평가하였다. 설계 제작된 광도파로 소자의 압력광원은 각각 1550nm와 632.8nm이고, 코어와 클래딩의 굴절률차는 0.45 $\Delta$%로 설계 제작하였다. 센서부(상위 클래드)의 금 박막의 미소 굴절률 변화에 따른 TE, TM모드의 특성을 분석하였다. 센서의 보다 높은 감도 개선을 위한 나노-광자결정 구조가 주목받고 있는데, 광자결정 구조의 구현를 위한 리소그래피 공정은 높은 분해능과 신뢰성 있는 나노스케일의 공정이 요구된다. 광-바이오센서의 감도 개선을 위해 센서부 표면에 2차원 나노-광자결정 배열을 제안하고 이를 구현하기 위한 Dip-Pen Nanolithography 공정에 대해 고찰하였다.

Keywords