Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Three-dimensional measurement of electron temperature and plasma density in coplanar AC plasma display panels

면방전 AC-PDP에서의 전자온도와 플라스마 밀도의 3차원 진단

  • Jeong, S.H. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Moon, M.W. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Park, W.B. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Lee, J.H. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Lim, J.E. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Lee, H.J. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Son, C.G. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Lee, S.B. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Yoo, N.L. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Han, Y.G. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Oh, P.Y. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Ko, B.D. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Jeoung, J.M. (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Seo, Yoon-Ho (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Cho, Guang-Sup (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
  • Choi, Eun-Ha (Department of Electrophysics, Kwangwoon University)
  • 정세훈 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 문민욱 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 박원배 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 이준호 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 임정은 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 이혜정 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 손창길 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 이수범 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 유나름 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 한용규 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 오필용 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 고병덕 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 정진만 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 서윤호 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 조광섭 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 최은하 (광운대학교 전자물리학과)
  • Published : 2005.05.13
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Abstract

이번 실험에서는 변방전형 교류 PDP에서의 3차원적인 전자온도와 이온밀도의 측정을 마이크로 랑뮈르 탐침법을 통해 실험적으로 연구하였다. 스테핑 모터에 연결된 마이크로 랑뮈르 탐침은 20um씩 움직이며 탐침에 인가하는 플러스와 마이너스의 직류전압을 통해 I-V곡선을 구할 수 있고 이를 통해서 전자온도와 플라스마 밀도를 구할 수 있다. Ne+Xe(4%) 200Torr의 혼합가스에서 전극의 테두리를 따라(X축) 전자온도 및 플라스마 밀도를 측정한 결과 중앙지점에서와 전극의 경계지역에서 이온밀도는 $7.69{\sim}11.1{\times}10^{11}cm^{-3}$ 까지 측정되었다. 또한 전자온도는 플라스마 밀도와 균형적인 관계에 있다는 것은 주목할 만하다. 전자온도는 전극 사이의 중심에서 가장 적게 1.3 ~ 3.15eV까지 측정되었다. Y축으로 측정했을 경우 이온 밀도와 전자온도는 전극 갭 중앙에서부터 약 80um 떨어진 지점에서 서로 교차하며 증가 및 감소였으며 이온밀도는 $8.3{\sim}11.1{\times}10^{11}cm^{-3}$로 측정되었고 전자온도는 이와 균형적인 관계를 가지고 1.2~1.6eV로 측정되었다. 또한 이러한 특성은 AC PDP 에서 나타나는 줄무늬 현상과 관련이 있는 것으로 보인다. Z축으로 측정했을 경우 약 125um높이에서 가장 높게 측정되었으며 $1.1{\times}10^{12}cm^{-3}$정도로 측정되었다.

Keywords