Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

차세대 CMOS dual metal gate용 Mo계열 합금 전극에 관한 연구

  • 오태관 (국민대학교 신소재공학부) ;
  • 이진우 (국민대학교 신소재공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 신소재공학부)
  • Published : 2005.02.15
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