Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

CFUBMS법을 이용한 사원계 ZrCrAlN 나노복합 박막에 관한 연구

  • 김연준 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이호영 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김용모 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 신경식 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 정우성 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.08.18
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