The microstructure of Metal Doped Conductive Carbon Coatings

금속원소 도핑된 전도성 카본 박막의 미세구조에 관한 연구

  • 명현식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 김성일 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • Published : 2005.11.04